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12月21日,《中科學報》報道,smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學教授肖文德領銜研發(fā)的具有自主知識產權的硅烷大規(guī)模生產新技術600噸/年中試生產項目,在河南平煤神馬集團試車成功,并已連續(xù)穩(wěn)定生產出純度大于99.9999%的高品質硅烷產品。該項目的成功標志著高純度硅烷大規(guī)模生產技術獲得突破。
據了解,我電子和大規(guī)模集成電路行業(yè)的芯片進口總額去年高達2300億美元。其中,一個重要原因是缺乏高純度晶體硅材料,而生產高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎。我電子工業(yè)幾十年來一直在尋找高純硅烷大規(guī)模生產的方法,希望掃清中信息產業(yè)發(fā)展的障礙。而生產高純晶體硅材料是必須以高純硅烷為基礎的。
過去很長一段時間里,內企業(yè)主要采用硅化鎂為原料,規(guī)模小,成本高,產品純度低;還有兩家大型有企業(yè)花費巨資引進了美公司的技術。以氟硅酸為原料,投資大,成本高,純度也不高,生存處境艱難。
肖文德教授憑借自己長期扎實的化工理論基礎和工作實踐,熟練運用化學反應工程的熱門和前沿技術,以多功能反應器為基礎,開創(chuàng)性地提出了基于三氯氫硅的硅烷生產技術。使原本不太可能的反應(轉化率0.1%)可以實現接近100%的轉化率。
2010年12月,中平煤神馬集團與smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議,共同開發(fā)硅烷法多晶硅技術。根據協(xié)議,平煤神馬集團先后投入2.0億元,經過三年半時間的共同研發(fā)和建設,項目進展順利。今年9月建成的中試裝置,一次性試車成功。
肖文德教授表示,該項目的投產,標志著擁有完全自主知識產權的成套工業(yè)化硅烷生產技術在內率先取得突破,結束了外技術壟斷和內產品全部依靠進口的歷史。在首山焦化公司新建成的年產600噸硅烷項目灌裝車間,已有不少客戶前來訂購產品。硅烷是太陽能電池生產過程中不可或缺的材料,在平板顯示器、半導體、鍍膜玻璃等制造企業(yè)有廣泛應用。近年來,內硅烷市場需求年增速達到15%至20%。
硅烷主要生產原料為硅粉和氫氣。
首山焦化公司是平煤神馬集團大的焦化生產企業(yè)。該公司堅持焦化并舉的發(fā)展道路,除生產優(yōu)質焦炭外,還延長副產品產業(yè)鏈,從焦爐煤氣中提煉氫氣,每小時氫氣產量達30000立方米。
2013年4月,首山焦化公司與smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學合作,研發(fā)生產硅烷。經過一年多的技術攻關,今年10月26日,首山焦化公司硅烷項目投產,產品純度達到99.99999%。據悉,目前外進口硅烷產品純度高是99.9999%,家標準是99.9999%。
該項目硅烷裝置負責人李紅彬說,該項目采用硅烷法實現硅烷的工業(yè)化生產,生產過程中原料可全部轉化,沒有廢物排放,打破了日本鎂硅法、美氯硅法等傳統(tǒng)硅烷技術難以大規(guī)模生產和成本高、廢物排放多等瓶頸。
來源:中芯片原材料重大突破:高純度硅烷實現量產本文《中芯片原材料重大突破:高純度硅烷實現量產》由昆山緯亞電子有限公司發(fā)布在分類[企業(yè)新聞],未經許可,嚴禁轉載發(fā)布。